压力传感器

敏芯微基于SENSA工艺压力传感器-现已推出

苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅压力传感器制成的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片 MSP 系列产品中。此项关键核心技术的突破，将为国内以至全球的微硅压力传感器行业带来深刻变革。传感芯片的尺寸、精度、可靠性、可加工性以及成本，将由于SENSA工艺的引入而产生质的飞跃。

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